硅片是太阳能电池的载体。硅片的好坏直接决定了太阳能电池的转换效率。因此,有必要对来料的硅片进行检查。该工艺主要用于硅片部分技术参数的在线测量。这些参数主要包括硅片表面不平整度、少数载流子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹。本组设备分为自动上下料、硅片传输、系统集成部分和检测模块四大模块。其中,光伏硅片检测仪检测硅片表面的不平整度,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数;微裂纹检测模块用于检测硅片内部的微裂纹;还有两个测试模块,一个在线测试模块主要用于测试硅片体电阻率和硅片类型,另一个模块用于检测硅片的少数寿命。在检测少数载流子寿命和电阻率之前,需要检测硅片的对角线和微裂纹,并自动去除损坏的硅片。硅片检测设备可以自动上下料晶片,可以将不合格产品放置在固定位置,从而提高检测精度和效率。
单晶硅绒面革是利用硅的各向异性腐蚀,每平方厘米硅表面形成数百万个四面体金字塔或金字塔结构而制备的。由于入射光在表面多次反射和折射,增加了对光的吸收,提高了电池的短路电流和转换效率。硅各向异性蚀刻液通常使用热碱溶液,可用的碱包括氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锂和乙二胺。大多采用廉价的1%左右的稀氢氧化钠溶液制备绒面硅,腐蚀温度70-85℃。为了得到均匀的麂皮,还应在溶液中加入乙醇、异丙醇等醇类作为络合剂,加速硅的腐蚀。在准备绒面革之前,必须先在表面蚀刻硅片,用碱性或酸性蚀刻液蚀刻约20-25μm。麂皮被腐蚀后,进行一般的化学清洗。已经表面处理过的硅片不要长时间存放在水中,防止污染,应尽快扩散成型。